科翰龙是一家专业从事半导体设备的研发、生产、销售及服务的高科技企业,可以为客户提供标准及定制的智能化生产设备。

    科翰龙公司成立于2007年,是国际半导体产业协会(SEMI)会员单位,致力于精密加工、激光加工及自动化技术在半导体微电子行业的应用,主要开发和制造三类产品:晶圆激光打码设备、晶圆倒角边抛设备、单片湿式工艺设备。

    晶圆打码设备适用于2″- 12″各种材质晶圆的软打标及硬打标,有适用于晶圆卡塞上料的、FOUP POD上料的以及SMIF POD上料的机型,各型设备均符合SEMI标准。

    晶圆倒角边抛设备有全自动晶圆磨边机、数控晶圆倒角机、晶圆边抛机及晶圆边形轮廓仪,分别适用于晶圆的磨边、倒角、边抛及边形轮廓检测。

    单片晶圆湿式工艺设备采用单片湿式工艺,可进行单片晶圆PVA刷洗、药液清洗及腐蚀、兆声清洗等工艺,实现晶圆的最终清洗、蚀刻或腐蚀等。

    科翰龙公司秉承“做用户值得信赖的合作伙伴“的理念,与用户密切配合共同发展,过硬的产品及优质的服务得到了广大客户的认可。产品在Si、Ge晶圆厂,GaAs、InP化合物半导体厂和SiC、GaN第三代半导体厂及晶圆FAB厂等领域均有广泛应用。

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