超洁晶圆打码机

超洁晶圆打码机WM-SC600/800/1200是专业化的全自动晶元激光打码专用设备，分别适用于2〞- 6〞、4〞- 8〞、8〞- 12〞晶元的软打标作业。

• 适用于Si,Ge,GaAs,SiC,GaN,InP,Sapphire,Quartz等 

• 适用于wafer ID打码及晶圆级封装打码

• 配备 SEMI OCR 及 2D MATRIX 字体

• 可选Hard Marking或Soft Marking

• 用户可选的CHECKSUM功能

• 可选配FOUP LOADPORT

• 可选配SMIF LOADPORT

• 可选配无接触式机械臂 

• 可选配背面打标功能

• 适合净化间使用