全自动晶圆磨边机

  • 商品介绍
  • 规格参数
  • 全自动晶圆磨边机为晶圆磨边、倒角的专用设备,利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用于2″- 6″晶圆、4″- 8″晶圆

    • 可加工T型、R型、RR型等多种边形的晶圆

    • 机械臂自动上下料,全自动生产

    • 可加工参考边型晶圆及Notch型晶圆

    • 自动进行粗研及精研加工

    • 可加工方片等异形晶圆

    • 可自动检测晶圆直径

    • 配备晶圆清洗功能

    • 配备晶圆干燥功能


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