超洁晶圆打码机WM-SC1200FOUP

  • 商品介绍
  • 规格参数
  • 超洁晶圆打码机WM-SC1200FOUP是专业化的全自动晶元激光打标专用设备,分别适用于8〞- 12〞晶元的Wafer Marking作业。

    • 适用于Si,Ge,SiC,GaN,InP,Sapphire,Quartz等 

    • 适用于wafer ID打码及晶圆级封装打码

    • 配备 SEMI OCR 及 2D MATRIX 字体

    • 可选Hard Marking或Soft Marking

    • 用户可选的CHECKSUM功能

    • 配备FOUP LOADPORT

    • 可选配SMIF LOADPORT

    • 可选配无接触式机械臂 

    • 可选配背面打标功能

    • 适合净化间使用


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