双面无接触式清洗设备

  • 商品介绍
  • 规格参数
    • 适合2"-6"晶圆

    • 自动程控清洗

    • 双面无接触,双面清洗

    • 可有效洗净有机污染物

    • 可有效洗净颗粒污染物

    • 可有效去除金属离子污染

    • 可在晶圆表面形成钝化层

    • 清洗过程全自动,无人为因素影响

    • 加工产品质量高,一致性好

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