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单片晶圆湿式工艺设备

采用单片晶圆湿式工艺设备,适用于2"-6"晶圆、4″- 8″晶圆、8″- 12″晶圆。

  • 工艺过程可编程,适应于晶圆最终清洗、投片前清洗、晶圆刻蚀等不同工艺

  • 可对正面及背面同时进行清洗或腐蚀

  • 采用双手指机械臂传送晶圆

  • 采用双面无基础清洗载物台

  • 配备双面PVA刷洗功能

  • 配备药液控温单元

  • 配备自动配药单元

  • 可选配兆声单元

  • 可选配自动灭火单元

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