晶圆打码机WM-SC1200R/1800R

晶圆打码机WM-SC1200R/1800R是专业化的晶圆激光打码专用设备，适用于12〞、18〞晶圆的打标作业。

• 适用于 300mm 及 450mm 晶圆；

• 符合SEMI 标准的 Wafer ID 码；

• 用户可选的 CHECKSUM 功能；

• 可选配Wafer ID读码检查功能；

• 可选配SECS/GEM通讯功能；

• 可配背面或双面打标功能；

• 可选配RFID读码功能。